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  • 1154 PECVD原理及應用 2023-7-7
    PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vaper Deposition)是等離子增強化學氣相淀積,該技術是在低氣壓下,利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上(即樣品放置的托盤)產生輝光放電,利用輝光放電(或

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