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線上講座:無掩膜光刻技術(shù)在生物芯片領(lǐng)域的新應(yīng)用

瀏覽次數(shù):3158 發(fā)布日期:2021-12-13  來源:本站 本站原創(chuàng),轉(zhuǎn)載請注明出處

報(bào)告簡介:

在制備新型生物芯片器件時(shí),通常會(huì)涉及到光刻工藝。而在諸多光刻技術(shù)中,無掩膜光刻技術(shù)因其獨(dú)特的優(yōu)勢和特點(diǎn),成為當(dāng)前最為流行高效的一種。與傳統(tǒng)掩膜版技術(shù)相比,無掩膜曝光技術(shù)具有高分辨、高對(duì)準(zhǔn)精度、更加簡易操作等諸多優(yōu)勢,能夠輕松實(shí)現(xiàn)微米、亞微米級(jí)精度的光刻、套刻。配合各類標(biāo)準(zhǔn)微加工工藝,能夠方便快捷地實(shí)現(xiàn)各類生物芯片器件的制備。在本報(bào)告中,將重點(diǎn)介紹無掩膜光刻技術(shù)最新前沿進(jìn)展,結(jié)合來自國內(nèi)外以色列理工,IBM,復(fù)旦等頂尖科研單位在國際期刊發(fā)表的研究成果,探討無掩膜光刻技術(shù)在生物芯片領(lǐng)域的應(yīng)用。

 

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報(bào)告時(shí)間:

2021年12月15日 14:00(北京時(shí)間)

 

主講人:

喻博聞  博士

喻博聞博士,畢業(yè)于澳大利亞昆士蘭大學(xué)機(jī)械與礦業(yè)學(xué)院,博士期間研究方向?yàn)槲⒓{機(jī)電器件中的界面問題,以及微納尺度操縱和加工技術(shù)。于2021年4月加入Quantum Design中國子公司表面光譜部門,負(fù)責(zé)微納加工相關(guān)產(chǎn)品在全國的應(yīng)用開發(fā)、技術(shù)支持及市場拓展工作。

 

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