便攜式光學膜厚儀

FR-portable 便攜式膜厚儀主要由以下系統(tǒng)組成：
Α白熾-LED混合集成式光源系統(tǒng)，通過內嵌式微處理器控制，使用壽命超過20000小時。
小型光譜儀，光譜范圍370nm –1050nm,分辨精度可達3648像素， 16位級 A/D 分辨精度；配有USB通訊接口；
Β) FR-Monitor膜厚測試軟件系統(tǒng)，
可精確計算如下參數：
1）單一或堆積膜層的厚度；
2）靜態(tài)或動態(tài)模式下，單一膜層的折射率；本軟件包含了類型豐富的材料折射率數據庫，可以有效地協(xié)助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統(tǒng)可支持吸收率，透射率和反射率的測量，還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜，一次使用授權，即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結果分析使用。
C) 參考樣片：
a) 經校準過的反射標準硅片；
b) 經校準過的帶有SiO₂/Si 特征區(qū)域的樣片；
c) 經校準過的帶有Si₃N₄/SiO₂/Si特征區(qū)域的樣片；
D) 反射探針臺和樣片夾具
可處理最大的樣品尺寸達200mm, 包含不規(guī)則的尺寸等；
手動調節(jié)可測量高度可達50mm；
可針對更大尺寸訂制樣片夾具；
Ε) 反射率測量的光學探針
內嵌系統(tǒng)6組透射光探針200μm, 1組反射光探針200μm；
F) 附件
FR-portable透射率測量套件；

Thickness measurement range	12nm – 90μm
Refractive Index calculation	P
Thickness measurement Accuracy	0.2% or 1nm
Thickness measurement Precision	0.04nm or 1‰ (0.01nm)
Thickness measurement stability	0.02nm
Sample size	1mm to 200mm and up
Spectral Range	400nm – 1100nm
Working distance	3mm-20mm
Spot size	0.35mm (diameter of the reflectance area)
Light Source Lifetime	20000h
Wavelength resolution	0.8nm
Number of Layers Measured	Max. 5 layers
Measurement time (max acquisition speed)	10ms/point
A/D converter	16 bit
Power	USB – supplied
Dimensions	300mm x 110mm x 40mm