旋轉(zhuǎn)沖洗干燥機(jī)

介紹：

• 旋轉(zhuǎn)沖洗干燥機(jī)用于沖洗和干燥直徑最大為12英寸的圓形或最大7英寸方形的基材；
• 可提供滿足您特定要求的標(biāo)準(zhǔn)轉(zhuǎn)子和定制轉(zhuǎn)子。轉(zhuǎn)子可以輕松快速地更換；
• 處理腔室上的儲(chǔ)罐加熱。處理腔室由電拋光不銹鋼制成。包含氮?dú)饧訜幔?/li>
• 正面的主開關(guān)，機(jī)械門鎖，PLC彩色觸摸屏和無(wú)刷伺服電機(jī)是標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備的一部分。

 
優(yōu)勢(shì)：

• 處理腔室加熱，安全緊急停止；
• 氮?dú)饧訜�，安全緊急停止；
• 完全從正面操作；
• 安全可靠的伺服電機(jī)，EN954-1，類別3；

 
選配件：
電導(dǎo)率測(cè)量
抗靜電設(shè)備
回收去離子水
 
另外配件：
氮?dú)馔獠繅毫φ{(diào)節(jié)器
氮?dú)饬髁坑?jì)

產(chǎn)品參數(shù)：

尺寸（英寸）	H	H1	H2	H3	H4	H5	B	B1	B2	B3	T
06	691	320	282	244	206	50	455	73	131	354	665
08	857	432	352	272	192	50	521	100	190	461	737
12	997	432	352	272	192	50	661	100	190	531	817

 
主營(yíng)產(chǎn)品：
Laurell勻膠機(jī)     
Harrick等離子清洗機(jī)
Thetametrisis膜厚儀  
Microxact探針臺(tái)
ALD原子層沉積系統(tǒng)
TRION反應(yīng)離子刻蝕機(jī)
Uvitron紫外固化箱
NXQ紫外曝光光刻機(jī)       
Novascan紫外臭氧清洗機(jī)
Nilt納米壓印機(jī)
Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加熱板
Annealsys高溫退火爐
Kinematic程序剪切儀
Laurell EDC系統(tǒng)，濕站系統(tǒng)     
Wabash/Carver自動(dòng)壓片機(jī)