潔凈室的構(gòu)成及等級要求介紹

潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計的房間。也就是不論外在之空氣條件如何變化，實驗室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特性。

根據(jù)潔凈室潔凈度的不同又將其劃分為幾個級別：

微流控芯片加工實驗室通常要求在潔凈環(huán)境中，實驗室中高溫爐區(qū)、等離子區(qū)、測試區(qū)等要求達到千級等級；光刻、勻膠、顯影工藝要求在百級超凈間進行。

實驗室組建主要包括潔凈室和外設(shè)系統(tǒng)的建設(shè)。潔凈室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室：

1. 天花板系統(tǒng)：包括吊桿、綱梁、天花板格子梁；

2. 空調(diào)系統(tǒng)：包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等；

3. 隔墻板：包括窗戶、門；

4. 地板：包括高架地板或防靜電舒美地板；

5. 照明器具：包括日光燈、黃色燈管等；

6. 潔凈實驗室所需的實驗臺、試劑柜、更衣柜、鞋柜等。