氫氣發(fā)生器的氫氣凈化方法探討

氫氣發(fā)生器中會采用多種凈化技術(shù)來提高氫氣的純度，以滿足設(shè)備的用氣要求，例如，GC/MS應(yīng)用中，需要高純氫氣作為載氣；CVD應(yīng)用中，需要高純氫氣作反應(yīng)氣等。
一般發(fā)生器都是通過電解水生成氫氣，并結(jié)合各種凈化技術(shù)來，以產(chǎn)生高純度的氫氣。
接下來，我們一起來看看氣體發(fā)生器中氫氣的凈化都會用到哪些技術(shù)。
 

1.PEM電解水/硅膠凈化技術(shù)
硅膠柱是一種常見的干燥凈化方法，硅膠柱內(nèi)填充作為干燥劑的硅膠珠，此方法簡單而普遍被采用。
經(jīng)PEM技術(shù)產(chǎn)生的氫氣流經(jīng)不銹鋼外殼的硅膠柱以去除水分，以生產(chǎn)高純度氫氣，滿足應(yīng)用的純度要求。
特點(diǎn)和優(yōu)勢

• 方便更換
• 符合一般GC 的純度要求
• 與其他凈化方式相比，成本更低

問題

• 凈化效果不理想，一些水分或氧氣殘留通常仍然存在
• 需要根據(jù)使用情況定期更換硅膠柱,對于使用頻率較高的客戶，可能需要每周更換硅膠柱

2.PEM電解水/鈀膜凈化
這是一種通過壓力的驅(qū)動(dòng)，使氫氣在鈀膜中擴(kuò)散的凈化裝置。一般是由鈀和銀的的材料復(fù)合組成，當(dāng)加熱到300ºC以上時(shí)，具有僅允許單原子氫通過其晶格的特性。與鈀膜表面接觸的氫氣分子分解成單原子氫并通過鈀膜。然后在另一側(cè)，單原子氫被重組成雙原子氫氣。
鈀凈化器可以有多種形式，包括管狀排列、卷曲螺旋或箔膜形式。