陰極熒光SEM-CL在半導(dǎo)體金剛石方面的應(yīng)用

       由于金剛石的非凡性能，如極高的硬度，化學(xué)惰性，光學(xué)透明度，高導(dǎo)熱性以及電絕緣，越來(lái)越多的應(yīng)用領(lǐng)域認(rèn)識(shí)到這種材料提供的好處。特別是在涉及極高功率密度、高機(jī)械負(fù)荷或惡劣磨料條件的應(yīng)用中，金剛石通常是滿足這種苛刻要求的唯一材料。金剛石在許多領(lǐng)域都有應(yīng)用，包括:

1、高功率電子器件:金剛石的特殊電子特性使其成為二極管和hemt等高功率器件最可靠的候選者。2、量子信息:氮基空位中心可用作單光子源。
3、MEMS和生物MEMS:金剛石是一種很有前途的單獨(dú)尋址電極陣列材料。
4、光學(xué)，熱和機(jī)械應(yīng)用:紅外窗口和透鏡。
5、電化學(xué)應(yīng)用:電極和生化傳感器。
6、輻射傳感器:電離輻射探測(cè)器/劑量計(jì)和熒光束監(jiān)測(cè)儀。

        陰極發(fā)光是半導(dǎo)體物理研究中的關(guān)鍵技術(shù)之一。它的應(yīng)用領(lǐng)域從分析半導(dǎo)體中的缺陷分布到表征這類材料的電性能。這些研究對(duì)提高生長(zhǎng)參數(shù)和設(shè)計(jì)大功率電子器件具有重要的意義。Attolight CL系統(tǒng)的特點(diǎn)開辟了一個(gè)新的研究領(lǐng)域:

a、delta結(jié)構(gòu)的完整表征:具有高達(dá)10納米的空間分辨率，這是研究半導(dǎo)體量子阱的強(qiáng)大工具之一。
b、載流子動(dòng)力學(xué)的完整研究:電荷載流子壽命在時(shí)間分辨模式下測(cè)量。
c、加入摻雜劑:Attolight CL系統(tǒng)可以在深紫外和高達(dá)20 K下工作，這意味著滿足了觀察金剛石中激子光譜的條件。
d、界面分析:由于高空間分辨率和納米定位階段，可以獲得界面的線形和映射。