掃描電鏡的兩只眼睛-背散射模式和二次電子模式

飛納電鏡為客戶配備了二次電子成像模式，使得對(duì)樣品立體外觀形貌的觀察又上了一個(gè)臺(tái)階。飛納電鏡擁有了兩只觀測(cè)樣品的“眼睛”——背散射探測(cè)器（BSD）和二次電子探測(cè)器（SED），不管您有什么觀測(cè)需求，這兩只“眼睛”都可以滿足您絕大部分的要求。

二次電子模式

飛納臺(tái)式掃描電鏡內(nèi)部可配備二次電子探頭，收集從樣品中被轟擊出的二次電子。這些二次電子主要來源于距樣品 1~10nm 的表面，由于入射深度小，入射電子的作用區(qū)域與入射束的束斑尺寸差別不大，所以相同條件下，二次電子的分辨率是優(yōu)于背散射圖像的。而且，由于二次電子對(duì)樣品傾斜角度更敏感，二次電子圖像可以呈現(xiàn)更好的立體形貌，如下圖所示。

可以看到錫球在二次電子成像下，周圍一圈是發(fā)亮的。這是由于二次電子是低能量的電子，它們的產(chǎn)生范圍很淺， 所以樣品上任意的傾斜、凹坑、凸起等幾何形貌都會(huì)影響二次電子的產(chǎn)生數(shù)量，從而出現(xiàn)立體感較強(qiáng)的明暗成像。

背散射電子模式

背散射電子模式作為傳統(tǒng)的成像方式，雖然立體成像上不如二次電子，但也有它獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)。背散射探頭一般分為四部分，各自采集受到樣品原子核反射回來的背散射電子。背散射電子是入射電子經(jīng)樣品中原子核的散射產(chǎn)生的，其產(chǎn)額與樣品的原子序數(shù)呈單調(diào)遞增關(guān)系，因此，背散射像能反映觀察區(qū)域輕、重元素的分布。如下圖所示。

圖片中錫球上的黑色物質(zhì)是碳一類的污染物，可以看到背散射圖像用亮暗對(duì)比，清晰地區(qū)分出了錫球上的污染物，而二次電子模式就無法做到這一點(diǎn)。

在一定的加速電壓下，背散射電子的產(chǎn)生量隨著樣品原子序數(shù)的增高而增加，其增加量比二次電子要敏感許多，如下圖所示。所以，背散射電子不僅可以用于形貌分析，還可以用于顯示樣品化學(xué)組分的組成特征，在一定范圍內(nèi)對(duì)試樣表面粗略地進(jìn)行化學(xué)成分分布情況分析。

根據(jù)自身的需要，選擇最合適的“眼睛”，會(huì)讓我們的樣品形貌更直觀。飛納臺(tái)式掃描電鏡可以提供背散射電子模式和二次電子模式的混合像，通過設(shè)置混合比例，將兩者的優(yōu)勢(shì)同時(shí)發(fā)揮出來。