晶圓檢測顯微鏡的特點與應(yīng)用優(yōu)勢

01、進入檢測領(lǐng)域的第一步
查看樣品表面的更多信息，在更短的研究時間內(nèi)改進產(chǎn)品質(zhì)量決策。

• 宏觀物鏡（Plan APO 0.7x）4倍與常規(guī)掃描物鏡的視野，用于快速瀏覽樣品

• 紫外照明可獲得更高分辨率，可與斜照明技術(shù)相結(jié)合，從任意角度以高分辨率查看樣品，獲得更多樣品表面信息，且檢驗結(jié)果精確

• 符合人體工程學(xué)的設(shè)計和自動化功能可實現(xiàn)快速、低疲勞操作，避免在重復(fù)性樣品檢測過程中注意力不集中

• 通過手動、編碼和電動功能支持智能工作流程，加快樣品檢測速度

02、快速樣品詳覽

從用于快速瀏覽樣本的微距物鏡（Plan APO 0.7x）到用于觀察最精細(xì)細(xì)節(jié)的微距物鏡。

• 使用 25 mm (FOV) 目鏡，可看到 35.7 毫米的樣品表面

• 一目了然地看到在高倍放大鏡下 "看不見 "的宏觀缺陷，如材料樣品中的曝光缺失區(qū)域、鯊魚齒結(jié)構(gòu)或流動結(jié)構(gòu)

• 需要檢測宏觀結(jié)構(gòu)時，無需對樣品進行耗時的掃描

• 只需切換到更高倍率（Obj. HC PL APO 150x/0.90 IVIS BD）即可看到最細(xì)微的細(xì)節(jié)

03、在更短時間內(nèi)獲得更多樣品表面信息

紫外照明可獲得更高分辨率，可與斜照明技術(shù)相結(jié)合，獲得更多樣品表面信息。

• 以高倍率（150 倍）的彩色模式，通過明場、暗場或DIC模式檢查樣品，以發(fā)現(xiàn)樣品缺陷

• 通過激活紫外線照明來提高光學(xué)分辨率，以觀察最精細(xì)的結(jié)構(gòu)

• 以高分辨率將對比度較低的表面轉(zhuǎn)化為清晰的結(jié)構(gòu)拓?fù)鋱D，快速發(fā)現(xiàn)缺陷

 

04、通過智能功能支持工作流程

通過手動、編碼和電動功能支持智能工作流程，加快樣品檢測速度。

• 只需點擊一下按鈕，即可根據(jù)所選方法自動調(diào)整照明和對比度設(shè)置，從而節(jié)省時間并避免出錯

• 集成的 LED 可見光和紫外照明可在幾秒鐘內(nèi)切換不同的照明技術(shù)，保證污染不會進入無塵間保持，確保潔凈室的清潔

• 內(nèi)置聚焦探測器，用于檢測高反射表面，可快速、輕松地找到正確的聚焦位置

 

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