電子束光刻膠

產(chǎn)地/品牌：德國(guó)Micro resist

型      號(hào)： ma-N 2400 MR-EBL 6000

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邁可諾技術(shù)有限公司

AZ正性光刻膠

產(chǎn)地/品牌：Merck

型      號(hào)： AZ P4620 AZ4562

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韓國(guó)單模波導(dǎo)樹(shù)脂

產(chǎn)地/品牌：ChemOptical

型      號(hào)： Exguide LFR 系列 、Exguide WIR30-RI系列

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加熱板

產(chǎn)地/品牌：德國(guó)Ramgraber

型      號(hào)： M-HP 200

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掩膜曝光光刻機(jī)

產(chǎn)地/品牌：Microptik

型      號(hào)： MMA16

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新一代標(biāo)準(zhǔn)數(shù)控點(diǎn)膠機(jī)

產(chǎn)地/品牌：MUSASHI

型      號(hào)： ML-5000XⅡ

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碳紙

產(chǎn)地/品牌：Toray

型      號(hào)： TGP-H-030

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真空回流焊爐

產(chǎn)地/品牌：INVACU

型      號(hào)： VSU12

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納米壓印膠

產(chǎn)地/品牌：MicroResist

型      號(hào)： mr-NIL210、MR-I T85系列

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SU-8光刻膠

產(chǎn)地/品牌：MicroChem

型      號(hào)： SU-8 2000 SU-8 3000

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Merck AZ光刻膠

產(chǎn)地/品牌：Merck

型      號(hào)： AZ 5214 、AZ4562

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Naphrax 硅藻膠

產(chǎn)地/品牌：Naphrax

型      號(hào)： Naphrax

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Cargille浸入液

產(chǎn)地/品牌：Cargille

型      號(hào)： 19495、19501等

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Cargille激光液

產(chǎn)地/品牌：Cargille

型      號(hào)： 20108、20109等

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Cargille顯微鏡浸油

產(chǎn)地/品牌：Cargille

型      號(hào)： A型、B型、300型等

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太陽(yáng)光模擬器

產(chǎn)地/品牌：日本San-Eielectric

型      號(hào)： XHS-50S1

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臨界點(diǎn)干燥儀

產(chǎn)地/品牌：英國(guó)Quorum

型      號(hào)： E3100

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臨界點(diǎn)干燥儀

產(chǎn)地/品牌：美國(guó)Tousimis

型      號(hào)： Automegasamdri®-915B，系列B

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攪拌脫泡機(jī)

產(chǎn)地/品牌：日本Kakuhunter

型      號(hào)： SK-300SII

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通用層壓儀模塊

產(chǎn)地/品牌：美國(guó)Kinematic

型      號(hào)： Matrix 2210

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