蔡司GeminiSEM 300掃描電鏡;
GeminiSEM 系列產(chǎn)品基于蔡司成熟的Gemini 技術(shù),該技術(shù)運用超過 20 年之久。配備有完整高效的探測系統(tǒng),并具有出色的分辨率和易用性等特點。蔡司 Gemini 物鏡設(shè)計結(jié)合了靜電場與磁場,提高電子光學(xué)性能的同時也將它們對樣品的影響降低。無漏磁物鏡設(shè)計,可以對如磁性材料等極具挑戰(zhàn)的樣品進行高品質(zhì)成像。在 Gemini 鏡筒設(shè)計理念中,同時運用 Inlens 二次電子(SE)和背散射電子(BSE)探測器來確保高效的信號檢測。Inlens 探測器均放置在鏡筒內(nèi)正光軸上,在減少重新校準的同時有效地縮短了獲取圖像的時間。Gemini 電子束推進器技術(shù)可以保證在非常低的加速電壓下仍獲得小束斑和高信噪比。此外,它讓電子束經(jīng)過加速后以高電壓通過鏡筒, 最終再減速至設(shè)定電壓后出鏡筒,從而減小外部雜散磁場對系統(tǒng)靈敏度的影響。
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